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C60-40 離子源系統(tǒng) 是目前性能較高的C60光束,具有300納米的光斑尺寸和高達(dá)1毫安的束流。
從生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用到聚合物科學(xué)和冶金,C60-40都可以做到這 一點。得益于與其他C60離子束相同的均勻濺射,但由于更高 的束能量,C60-40具有難以置信的精細(xì)斑點和更高的蝕刻率,是一種用于廣泛應(yīng)用的極其強大的分析工具。
C60-40 離子源系統(tǒng) 是一款出色的全能型產(chǎn)品,Ionoptika銷售的每臺J105SIMS儀器中都包含C60-40。
主要參數(shù):
主要應(yīng)用 | 分析 |
光斑尺寸 | 300 µm |
掃描范圍 | 1 x 1 mm |
能耗范圍 | 10 – 40 kV |
電流范圍 | 1 nA |
法蘭至機頭長度 | 168 ± 5 mm |
推薦工作距離 | 22 ± 2 mm |
電源裝置 | 6U x 19’’ rack mountable unit |
電源要求 | 110-240VAC 13A 50/60Hz |
軟件要求 | PC running Windows 10 or later |
集成法蘭規(guī)格 | NW 63 CF |
特點:
◇ 用于 SIMS 分析的出色的全部方位離子束;
◇ 小光斑尺寸可達(dá) 300 nm;
◇ 電流高達(dá) 1 nA;
◇ Wien濾波器,用于在直流和脈沖操作過程中進(jìn)行質(zhì)量濾波;
◇ 提供快速脈沖、脈沖串、光柵和二次電子檢測功能;
◇ 閘閥,便于快速維修
應(yīng)用技術(shù):
下圖顯示了C60-40在正離子模式下獲得的半導(dǎo)體堆棧的3D SIMS圖像。樣品由InSb、Al和GaAs層組成,覆蓋在保護(hù)性光刻膠層中。
這種軟有機、無機和硬金屬層的結(jié)合對于大多數(shù)其他離子束來說是極其困難的。C60-40是這一棘手應(yīng)用的理想選擇,因 為它在不同材料上具有一致的濺射速率。C60-40與300 nm的光斑尺寸相結(jié)合,是一種強大的光束,無論您使用何種類型的樣品,都能在2D和3D中提供較高分辨率。
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